美國API激光干涉儀代理介紹
5D/6D API激光干涉儀是API的產(chǎn)品,一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差,包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。API激光干涉儀在通常情況下需要數(shù)天時間進(jìn)行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時間可達(dá)80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。
6D API激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數(shù),記錄長度位移。API激光干涉儀第二束光用作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到小,從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。
測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到小。